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塵埃粒子最高允許數(shù)（每立方米）：大或等于0.5微米的粒子數(shù)不能超出3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不能超出20000個(gè)；
微生物最高允許數(shù)：10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)是：浮游菌數(shù)不能超出500個(gè)每立方米；沉降菌數(shù)不能超出10個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差：相同潔凈度等級(jí)的潔凈車間壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa，潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。
配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過(guò)道等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制
一、動(dòng)態(tài)檢測(cè)時(shí)，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的噪音級(jí)不得超出70分貝A。
二、靜態(tài)檢測(cè)時(shí)，萬(wàn)級(jí)亂流無(wú)塵室的噪音級(jí)不能超出60分貝A。
氣流組織
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式；
1、局部孔板頂棚送風(fēng)；
2、帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng)；
3、上側(cè)墻送風(fēng) 等三種送風(fēng)方式。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式：
1、單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口；
2、當(dāng)采用過(guò)道回風(fēng)時(shí)，在過(guò)道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
送風(fēng)口風(fēng)速米/秒：
1、孔板孔口3~5；
2、側(cè)送風(fēng)口：
（1）貼附射流2~5；
（2）非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5，對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。
回風(fēng)口風(fēng)速（米/秒）：
1、無(wú)塵室回風(fēng)口不超2；
2、過(guò)道內(nèi)回風(fēng)口不超4。
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