1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過(guò)濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類(lèi)設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線(xiàn)排氣。
f.設(shè)置給水管線(xiàn)、氣體管線(xiàn)和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無(wú)塵室專(zhuān)用工具組，但不得帶出無(wú)塵室外使用。
l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話(huà)應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過(guò)濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動(dòng)化與無(wú)塵化：
a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來(lái)的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。
b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無(wú)塵室人員的資格限定，無(wú)塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無(wú)塵室管理規(guī)則等。
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